После пересборки модуля mod_php (была добавлена поддержка OpenSSL) перестал стартовать Apache с ключем -DSSL. Никаких ошибок, просто после ввода pass phrase процесс httpd падал.
Решением стало изменение порядка загрузки модулей в конфиге Apache: сначала должен загрузиться mod_ssl и только потом mod_php.